آزمایشگاه اسپاترینگ و لیتوگرافی
دانشکده/پژوهشگاه: دانشکده فیزیک
مسئول: محمد مهدی شهیدی
اسپاترینگ و لیتوگرافی
داخلی 2608
داخلی 2608
تجهیزات و خدمات
- دستگاه اسپاترینگ 3 کاتده بهمراه تبخیر حرارتی (پوشش های نانو ساختار)
- دستگاه اسپاترینگ رومیزی (پوشش های نانو ساختار)
- کوره باکس 1200 درجه (آترا)