دستگاه اسپاترینگ 3 کاتده بهمراه تبخیر حرارتی

دستگاه اسپاترینگ 3 کاتده بهمراه تبخیر حرارتی

دانشکده/پژوهشگاه: دانشکده فیزیک

آزمایشگاه: آزمایشگاه اسپاترینگ و لیتوگرافی

مدیر آزمایشگاه: محمد مهدی شهیدی

تعرفه ثابت: توافقی
وضعیت: سالم
خدمات:
کارخانه سازنده: پوشش های نانو ساختار
نام مسئول: محمد مهدی شهیدی
شماره(های) تماس: 9-02332392204 داخلی 2604
استفاده از این تجهیز، منوط به توافق می باشد. برای استفاده از این تجهیز، هزینه کارشناسی نیز اضافه میگردد.

دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتیDST2-T , یک سیستم لایه نشانی در خلاء با محفظه شیشه ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می باشد.  این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ (کندوپاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد.

ویژگی ها دستگاه:

 

ü                 منبع تغذیه با جریان 0 تا 1000 میلی آمپر

ü                 منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس

ü                 تنظیم زمان و یا ضخامت فرایند لایه نشانی به صورت دستی و خودکار

ü                 مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانایی کج شدن در جهت کاتد ها را دارد

ü                 دو عدد MFC برای کنترل فشار محفظه خلاء

ü                 کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار

ü                 کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها

ü                 قابلیت ورود سریع داده ها با استفاده از کنترل لمسی و تمام خودکار

ü                 رسم منحنی های فشار و ضخامت

ü                 انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر

ü                 گاز نیتروژن برای انجام عملیات vent

300000

لایه نشانی فلزات  بدون تارگت تا 100 نانومتر

لایه نشانی به روش کندو پاشRF **

600000

لایه نشانی غیر فلزات  بدون تارگت تا 100 نانومتر

---

به ازاء هر 100 نانومتر اضافی 50%

200000

طلا و پلاتین و تیتانیوم

استفاده از تارگت 2 اینچی

100000

مس و آلومینیوم

150000

نقره



تعرفه خدمات
برای استفاده از این ابزار، باید در سیستم شناسائی شوید. چنانچه نام کاربری ندارید، از این لینک برای ثبت نام استفاده نمائید. چنانچه در سیستم ثبت نام کرده اید از دکمه زیر استفاده نمائید. متقاضی سرویس