دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتیDST2-T , یک سیستم لایه نشانی در خلاء با محفظه شیشه ای بزرگ و پمپ توربومولکولار می باشد.  این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ (کندوپاش) و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد.

ویژگی ها دستگاه:

ü                 منبع تغذیه با جریان 0 تا 1000 میلی آمپر

ü                 منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس

ü                 تنظیم زمان و یا ضخامت فرایند لایه نشانی به صورت دستی و خودکار

ü                 مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانایی کج شدن در جهت کاتد ها را دارد

ü                 دو عدد MFC برای کنترل فشار محفظه خلاء

ü                 کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار

ü                 کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها

ü                 قابلیت ورود سریع داده ها با استفاده از کنترل لمسی و تمام خودکار

ü                 رسم منحنی های فشار و ضخامت

ü                 انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر

ü                 گاز نیتروژن برای انجام عملیات vent