دستگاه اسپاترینگ رومیزی مدل DSR1 با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدفهایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند. با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلأ سازی و لایه نشانی می توان لایه هایـی با دقت ضخـامت 1 نانومــتر تولید کرد.

کاربردها

سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 برای ایجاد لایه های نانومتری ، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و ​میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می باشد. 

اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می باشد.

مشخصات دستگاه 

• پمپ روتاری
• فشار نهایی 30 میلی تور و مناسب برای لایه نشانی فلزات غیر اکسیدی ( طلا، پالادیوم، پلاتین و ...)
• کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی
• کاتد مگنترون اسپاترینگ 2 اینچ 
• صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
• قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
• قابلیت نگهداری نمونه ها در خلأ
• تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر سوزنی
• منبع تغذیه DC با توان 80 وات
• محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170

تارگت های موجود: طلا، پلاتین، نقره، مس