PLD لایه نشانی با لیزر پالسی

PLD لایه نشانی با لیزر پالسی

دانشکده/پژوهشگاه: دانشکده فیزیک

آزمایشگاه: آزمایشگاه پلاسما

مدیر آزمایشگاه: دکتر مهدی مومنی

تعرفه ثابت: 1700000 ریال
وضعیت: سالم
خدمات:
کارخانه سازنده: پرتو تجهیز امین
نام مسئول: صادق سلطانی
شماره(های) تماس: 02332395270
برای استفاده از این تجهیز باید 100% مبلغ فاکتور پرداخت گردد.

فرایند لایه نشانی فیزیکی از فاز بخار است که توسط پالس لیزر در خلاء انجام می‌شود.در این روش با تمرکز پالس لیزر بر روی نمونه، مقدار کمی از ماده تبخیر یا کنده می‌شود و در پلوم پلاسمایی ایجاد شده ذرات به سمت زیرلایه حرکت می‌کنند. با رسیدن این ذرات به سطح زیرلایه (که معمولاٌ در حین آزمایش گرم می‌شود) و پیوستن به یکدیگر با تشکیل جزایر و خوشه‌ها،لایه‌ی نازک شکل می‌گیرد.لایه نشانی بوسیله‌ی سیستم‌های تبخیری یا کند‌وپاش برای ترکیباتی که دارای عناصر زیادی هستند به دلیل تفاوت دمای جوش و فشار بخار عناصر مختلف در یک ترکیب، امکان پذیر نیست.بزرگترین مزیت روش PLD حفظ استوکیومتری بین ماده هدف و لایه نازک می‌باشد و می‌توان از آن برای لایه نشانی انواع فلزات، اکسیدها، نیتریدها، کربیدها و حتی پلیمرها استفاده کرد.

فشار نهاییmbar 6-10

مجهز به هیتر زیرلایه°c 400

محفظه تمام استیل 6 لیتری

مجهز به پمپ توربو 80 لیتر بر ثانیه

دارای سه پنجره اپتیکی از جنس پیرکس

فشارسنج دوبل با قابلیت قرائت فشار از اتمسفر تا mbar 9-10

نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش


تعرفه خدمات
برای استفاده از این ابزار، باید در سیستم شناسائی شوید. چنانچه نام کاربری ندارید، از این لینک برای ثبت نام استفاده نمائید. چنانچه در سیستم ثبت نام کرده اید از دکمه زیر استفاده نمائید. متقاضی سرویس