میكروسكوپ روبشی تونل زنی دستگاهی است كه برای بررسی ساختار و برخی از خوص سطوح  مواد رسانا و مواد بیولوژیكی كه تا حدی رسانا هستند و همچنین لایه‌های نازك نارسانا كه روی زیر لایه رسانا، در حد ابعاد نانومتری لایه نشانی شده اند بكار می‌رود.

    در میکروسکوپ تونلی روبشی، سطح نمونه بوسیله سوزنی نوک تیز، بنام تیپ یا پروب روبش می‌شود. نوک یک پروب سالم و ایده آل، بسیار تیز بوده، بطوریکه در نوک آن تنها یک اتم جای می‌گیرد؛ بنابراین از حساسیت بسیار بالایی برخوردار است و به دلیل ابعاد بسیار کوچک خود می‌تواند در حد نانومتر، کوچکترین پستی یا بلندی ها را در سطح نمونه آنالیز نماید و با استفاده از تجهیزات و نرم افزارهای موجود در دستگاه، داده های بدست آمده را بصورت تصویر بر نمایشگر نمایش دهد.

پارامترهای قابل اندازه گیری:

بررسی توپوگرافی سطح و خواص الکترونی موضعی نمونه